■什麼是靜電吸盤 E-Chuck?
靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。
靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。
可吸附多種材質
|
Thin Warp Wafer Adhered by E-chuck
|
■靜電吸盤的種類
(1) Coulomb-Force 庫倫力型靜電吸盤
(1) Coulomb-Force 庫倫力型靜電吸盤
- “靜電吸盤”為最原始論文標示electrostatic，因而延續稱呼“靜電”吸盤。
- “靜電“吸盤有許多種類和製造商，其“靜電“與“摩擦靜電“之靜電不盡相同。
- 專利 “庫倫力型” 靜電吸盤的原理，與其它產品很不相同。
- 專利庫倫力型電力場為“靜止”電子產生，非摩擦靜電產生之電子或能量很高之自由電子產生。
■專利庫倫力型靜電吸盤的特色
(1) 為 “庫倫力型” 靜電吸盤。
(2) 本靜電吸盤研發改進數十年，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。
(3) 以電極裡印加電壓的方式實現安定吸附。
(4) 在庫倫力型靜電吸盤中以最低的印加電壓發揮最大吸引力的電子吸盤。
(5) 對象物的背部的電位為零，所以不影響背部的回路 (比如TFT回路)。
(6) 可吸附多種材質和多孔隙材料：金屬/半導體/玻璃/紙張/絕緣體/多孔隙材料等。
(7) 在真空環境或一般大氣環境均可使用。
(8) 可定義吸附區及非吸附區，非吸附區可以供其他功能使用。
(9) 可使用不同基底材質 (如 :不鏽鋼，鋁板，半導體晶圓，玻璃，合成塑膠 )。
(10) 可客制化成多樣尺寸形狀厚度供客戶使用。
(11) 先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。
(12) 無線吸盤 Move-Free Supporter 經過吸附設定後，可電源斷開分離，自由移動，做傳輸載具應用。
(1) 為 “庫倫力型” 靜電吸盤。
(2) 本靜電吸盤研發改進數十年，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。
(3) 以電極裡印加電壓的方式實現安定吸附。
(4) 在庫倫力型靜電吸盤中以最低的印加電壓發揮最大吸引力的電子吸盤。
(5) 對象物的背部的電位為零，所以不影響背部的回路 (比如TFT回路)。
(6) 可吸附多種材質和多孔隙材料：金屬/半導體/玻璃/紙張/絕緣體/多孔隙材料等。
(7) 在真空環境或一般大氣環境均可使用。
(8) 可定義吸附區及非吸附區，非吸附區可以供其他功能使用。
(9) 可使用不同基底材質 (如 :不鏽鋼，鋁板，半導體晶圓，玻璃，合成塑膠 )。
(10) 可客制化成多樣尺寸形狀厚度供客戶使用。
(11) 先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。
(12) 無線吸盤 Move-Free Supporter 經過吸附設定後，可電源斷開分離，自由移動，做傳輸載具應用。
■專利庫倫力型靜電吸盤的優點
(1) 可吸附多種物體：金屬導體～半導體～絕緣體(玻璃基板)～多孔型物體～軟性物品(如, 紙張)。
(2) 在真空環境下也具有安定的吸附力，正常操作，不受影響。
(3) 被吸物體背面的電位為零，對背部電子回路沒有影響，避免傳統靜電吸盤的靜電干擾。
(4) 不是用夾取，是用吸附。對象物面的均勻作用力，對象物不產生壓痕，傷痕等。
(5) 可加強支撐厚度薄的晶圓，重整彎曲之晶圓。吸附後，可共同進入加工程序。
(1) 可吸附多種物體：金屬導體～半導體～絕緣體(玻璃基板)～多孔型物體～軟性物品(如, 紙張)。
(2) 在真空環境下也具有安定的吸附力，正常操作，不受影響。
(3) 被吸物體背面的電位為零，對背部電子回路沒有影響，避免傳統靜電吸盤的靜電干擾。
(4) 不是用夾取，是用吸附。對象物面的均勻作用力，對象物不產生壓痕，傷痕等。
(5) 可加強支撐厚度薄的晶圓，重整彎曲之晶圓。吸附後，可共同進入加工程序。
■ 主要應用
①薄化硅片Thin Wafer_4,6,8,12 inch。翹曲硅片Warp Wafer。
②PVD, CVD, Plasma ETCHER, ION Beam Trimming (IBT)。
③3D IC Fabric Package。MCM, MCP, WLP, WoW, CoW, CoWoS, SoIC先進封裝。
④超薄平板玻璃,UTG。
⑤Micro-LED。
⑥金屬薄片銅箔Copper Foil。
⑦軟性薄膜。
⑧曲面玻璃。
⑨真空貼合。
⑩形狀補強 (Eg, 4"_Wafer on 6"_E-Chuck)。
②PVD, CVD, Plasma ETCHER, ION Beam Trimming (IBT)。
③3D IC Fabric Package。MCM, MCP, WLP, WoW, CoW, CoWoS, SoIC先進封裝。
④超薄平板玻璃,UTG。
⑤Micro-LED。
⑥金屬薄片銅箔Copper Foil。
⑦軟性薄膜。
⑧曲面玻璃。
⑨真空貼合。
⑩形狀補強 (Eg, 4"_Wafer on 6"_E-Chuck)。
Thin Wafer Handling Solutions
■專利庫倫力型靜電吸盤-產品項目
● Workable in Vacuum Environments
● Be able to adsorb Metal / Semiconductor / Glass / Paper / Porous materials
● Be able to adsorb Metal / Semiconductor / Glass / Paper / Porous materials
|
|
|
半自動/全自動E-Chuck硅片吸附解離機
無線載具吸盤
Move-Free Thin Wafer Carrier Supporter |
電池式吸盤
Battery Power Holder |
機器手臂吸盤
Robot Hand Holder |
真空光學檢視吸盤
Vacuum AOI Holder |
銅箔吸盤
Foil Holder |
大尺寸拼接吸盤
Stitching Holder |
手持式無線吸盤
Palm Holder |
曲面吸盤
3D Curved Holder |
❶ 微晶片吸附 Micro Die Handling 100μｍ×200μｍ E-Chuck
❷ 薄化硅片載具吸盤 Thin Wafer, Mobile E-Chuck Carrier Supporter_4,6,8,12-inch
▲半自動 Mobile E-Chuck Carrier 硅片吸附解離機_4,6,8,12 inch
▲全自動 Mobile E-Chuck Carrier 硅片吸附解離機_4,6,8,12 inch
❸ 機器手臂吸盤 (Wired) Thin Wafer Robot Holder
❹ 電池電源無線吸盤 (Cordless) Battery Power Holder
❺ 手持式吸盤 Thin Wafer Plam Holder
❻ 金屬薄片吸盤 Thin Foil Holder
❼ 2D曲面吸盤 3D Curved Holder
❽ 3D曲面吸盤 2D Curved Holder
❾ 真空AOI檢驗吸盤 AOI Black Holder
❿ 大尺寸拼接吸盤 Stitching Holder
⓫ 其他客制吸盤 Customized E-Chucks
❷ 薄化硅片載具吸盤 Thin Wafer, Mobile E-Chuck Carrier Supporter_4,6,8,12-inch
▲半自動 Mobile E-Chuck Carrier 硅片吸附解離機_4,6,8,12 inch
▲全自動 Mobile E-Chuck Carrier 硅片吸附解離機_4,6,8,12 inch
❸ 機器手臂吸盤 (Wired) Thin Wafer Robot Holder
❹ 電池電源無線吸盤 (Cordless) Battery Power Holder
❺ 手持式吸盤 Thin Wafer Plam Holder
❻ 金屬薄片吸盤 Thin Foil Holder
❼ 2D曲面吸盤 3D Curved Holder
❽ 3D曲面吸盤 2D Curved Holder
❾ 真空AOI檢驗吸盤 AOI Black Holder
❿ 大尺寸拼接吸盤 Stitching Holder
⓫ 其他客制吸盤 Customized E-Chucks
■專利庫倫力型靜電吸盤-吸附原理
專利庫倫力型靜電吸盤經歷長期研發改進和驗證，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。
先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。無線吸盤 Move-Free Supporter 經過吸附設定後，可電源斷開分離，自由移動做傳輸載具應用，可提供薄化晶圓或薄型玻璃的形狀或硬度補強。
專利庫倫力型靜電吸盤擁有許多獨有的特性，可為許多輕薄軟易碎物件、真空環境中的工程問題，提供最佳解決方案。
專利庫倫力型靜電吸盤經歷長期研發改進和驗證，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。
先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。無線吸盤 Move-Free Supporter 經過吸附設定後，可電源斷開分離，自由移動做傳輸載具應用，可提供薄化晶圓或薄型玻璃的形狀或硬度補強。
專利庫倫力型靜電吸盤擁有許多獨有的特性，可為許多輕薄軟易碎物件、真空環境中的工程問題，提供最佳解決方案。
(1) 施加電壓給靜電吸盤電極。
(2) 靜電吸盤表層將會極化，並且對被吸附物表面產生吸力。
(3) 吸附力只產生在靜電吸盤電極與被吸附物表面之間。
(4) 被吸附物的表面極化只發生在非常淺的深度，沒有電位產生在吸附物的背面。
(5) 可吸附多種材質和多孔隙材料。
(6) 特殊設計的電極構造，電場集中於吸著面接口，使吸著對象吸著面產生分極，誘起強大的吸著力。
(7) 先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。
(2) 靜電吸盤表層將會極化，並且對被吸附物表面產生吸力。
(3) 吸附力只產生在靜電吸盤電極與被吸附物表面之間。
(4) 被吸附物的表面極化只發生在非常淺的深度，沒有電位產生在吸附物的背面。
(5) 可吸附多種材質和多孔隙材料。
(6) 特殊設計的電極構造，電場集中於吸著面接口，使吸著對象吸著面產生分極，誘起強大的吸著力。
(7) 先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。
■ 產品影片
|
微晶片吸附 Micro Die Handling 100μｍ×200μｍ E-Chuck
|
無線薄化硅片載具吸盤: Mobile E-Chuck Carrier Thin Wafer Carrier_4,6,8,12-inch: MESC, Mobile ElectroStatic Carrier
|
專利庫倫力型靜電吸盤 Patent Coulomb-Force E-Chuck (Same Adhesion in Every Area, Workable in Vacuum)
|
|
薄化硅片_手持式吸盤: 正常硅片
Thin Wafer E-Chuck Palm Holder: Normal Wafer Handling |
薄化硅片_手持式吸盤: 薄化硅片
Thin Wafer E-Chuck Palm Holder: Thin Wafer Handling |
薄化硅片_機器手臂吸盤
Thin Wafer E-Chuck Robot Holder |
|
薄化硅片_半自動E-Chuck硅片吸附解離機_吸附 SEMI-AUTO Thin Wafer Bonding of Mobile E-Chuck Carrier_4,6,8,12-inch
|
薄化硅片_半自動E-Chuck硅片吸附解離機_解離 SEMI-AUTO Thin Wafer Debonding of Mobile E-Chuck Carrier_4,6,8,12-inch
|
薄化硅片_全自動E-Chuck硅片吸附解離機 FULL-AUTO Thin Wafer Bonder of Mobile E-Chuck Carrier_4,6,8,12 inch
|
|
金屬薄片銅箔吸附
E-Chuck Copper Foil Holder |
Silicone Rubber Heater
|
■ 相關產品
●專利庫倫力型靜電吸盤 產品介紹
●無線靜電吸盤 Move-Free Supporter E-chuck
●外延片、晶圓代工、半導體耗材、Epi-wafer, Foundry
●什麼是真空回流焊 What is Vacuum Brazing?
●湯森儀器 Tempsens Instruments (India), Tempsens Instruments GmbH
全球最大工業加熱器●矽膠平面加熱●陶瓷坩堝●雲母坩堝●紅外線輻射加熱●空氣加熱器
●專利庫倫力型靜電吸盤 產品介紹
●無線靜電吸盤 Move-Free Supporter E-chuck
●外延片、晶圓代工、半導體耗材、Epi-wafer, Foundry
●什麼是真空回流焊 What is Vacuum Brazing?
●湯森儀器 Tempsens Instruments (India), Tempsens Instruments GmbH
全球最大工業加熱器●矽膠平面加熱●陶瓷坩堝●雲母坩堝●紅外線輻射加熱●空氣加熱器
■ 迪斯泰克 DESTACO : 美國最大自動化、工件夾持元件製造商
■ DESTACO 小承載重量機器人工具 Small Payload Robot Tooling (<10Kg)
■ DESTACO 快速輕量化機器人手臂工具集 ACCELERATE® LightWeight EOAT 在高速自動化中可以更快地移動物件
■ DESTACO Bag Grippers 袋爪 每分鐘堆疊30件袋裝物
■ DESTACO 鈑金夾爪 Sheet Metal Gripper
■ DESTACO 快換接頭/換槍盤 Tool Changers 非常適用於機器人的 - 多末端工具應用
■ DESTACO 端拾器 End Effectors
■ DESTACO 新型深碟形加速真空杯 New Accelerate® Vacuum Cups
■ DESTACO 電子真空杯 Ecocup™
■ DESTACO 文丘里真空管 Venturi Vacuum
■ DESTACO 迷你氣動夾具 Mini Pneumatic Power Clamps
■ DESTACO 氣動夾具 Pneumatic Clamps
■ DESTACO 重型氣動夾具 Power Clamps
■ DESTACO 液壓夾具汽缸 Hydraulic Clamp / Air Hydraulic Pump
■ DESTACO 航太夾具 Aerospace Clamps
■ DESTACO 快速夾鉗夾具 Manual Clamps
■ DESTACO 最新精密導軌和升降機 Precision Guides and Lifters
■ 迪斯泰克 DESTACO 旗下品牌 : ROBOHAND
■ ROBOHAND 電動夾爪 Electric Grippers
■ ROBOHAND 無塵室夾爪、滑軌、旋轉器 Clean Room Grippers, Slides, Rotaries
■ ROBOHAND 氣動旋轉台 Pneumatic Rotary Actuators
■ ROBOHAND 滑軌、擒縱器、推卸器 Slides, Escapements, Thrusters
■ DESTACO 微型滑軌滑台 Miniature Slide
■ DESTACO 迷你夾爪 Micro Miniature Gripper
■ DESTACO 氣動夾爪 Pneumatic Grippers
■ DESTACO重型夾爪 Heavy Duty Grippers
■ DESTACO 不銹鋼食品夾爪 FDA Food Handling Grippers
■ 迪斯泰克 DESTACO 旗下品牌 : CAMCO、FERGUSON
■ CAMCO 分割器、過載保護離合器 CAMCO Indexers, Overload Clutches
■ CAMCO 定位器、減速器 Positioners, Reducers
■ CAMCO 線性&旋轉零件裝卸器 CAMCO Linear / Rotary Parts Handlers
■ CAMCO GTB 伺服定位減速器 SERVO POSITIONING ROTARY TABLES
■ CAMCO 精密輸送帶 Precision Conveyors
■ 迪斯泰克 DESTACO 旗下品牌 : CRL
■ CRL 遠距隔離操作機械手 Telemanipulators
■ CRL 快速輸送端口 RTP, Rapid Transfer Ports
■ CRL 廢物桶傳輸系統 WASTE DRUM TRANSFER SYSTEM (WDTS)
■ DIRECTCONNECT™ : DESTACO 模塊化直接安裝系統
■ Toggle Lock Plus™ : DESTACO 双重鎖夾具
■ Accelerate Collection® : DESTACO 加速輕量化機器手臂工具
■ 什麼是靜電吸盤?
■ 專利庫倫力型靜電吸盤 Patent Coulumb Force Electrostatic Chuck
■ 無線靜電吸盤 Move-Free Supporter E-chuck
■ 真空回流焊 What is Vacuum Brazing?
■ 防爆馬達 Explosion-Proof Motor?
■ ABB 防爆馬達 Explosion-proof Motor 高性能交流永磁無刷伺服電機
■ 德國 PCE Instruments 各式測量檢測儀 | 領先的測量、顯微內視儀、實驗室、稱重設備
■ 德國 Rudolph Tietzsch GmbH & Co. KG 超高電壓測試儀 & 防爆接地絕緣電阻測試儀
■ 德國 THYRACONT Vacuum Instruments GmbH 最精制的真空計
■ SRT 北京軟體機器人科技股份有限公司 ①柔性氣囊夾爪②機器視覺智能辨識檢測機
■ TORCH 北京中科同志科技有限公司 | 國家火炬計畫 - 國家級高新技術企業 中小型Vacuum Brazing真空回流焊接、SMT設備領跑者
■ TERMWAY 泰姆瑞 | 高精密自動CCD視覺貼片機 ①SMT多功能貼片機②多功能視覺貼片機③高速貼片機④LED貼片機
■ TYT 北京天譽創新科技有限公司❶伺服電動缸❷伺服電機❸直角坐標機器人❹電動六軸自由度平台並聯機器人 6DoF
■ Teison 泰盛能源技術有限公司 EVSE DC/AC Charger (美標/歐標/陸標)❶直流充電桩❷交流充電桩❸充電線❹配件
■ AST, Accurate Sensors Technologies 非接觸式紅外線溫度計
■ ACCUOPT, Accurate Optoelectronics ①體溫發熱感測儀②熱像監控儀③夜視儀
■ 湯森儀器 Tempsens Instruments (India) Tempsens Instruments GmbH 全球最大工業加熱器●陶瓷坩堝●雲母坩堝●空氣加熱器
■ DESTACO 小承載重量機器人工具 Small Payload Robot Tooling (<10Kg)
■ DESTACO 快速輕量化機器人手臂工具集 ACCELERATE® LightWeight EOAT 在高速自動化中可以更快地移動物件
■ DESTACO Bag Grippers 袋爪 每分鐘堆疊30件袋裝物
■ DESTACO 鈑金夾爪 Sheet Metal Gripper
■ DESTACO 快換接頭/換槍盤 Tool Changers 非常適用於機器人的 - 多末端工具應用
■ DESTACO 端拾器 End Effectors
■ DESTACO 新型深碟形加速真空杯 New Accelerate® Vacuum Cups
■ DESTACO 電子真空杯 Ecocup™
■ DESTACO 文丘里真空管 Venturi Vacuum
■ DESTACO 迷你氣動夾具 Mini Pneumatic Power Clamps
■ DESTACO 氣動夾具 Pneumatic Clamps
■ DESTACO 重型氣動夾具 Power Clamps
■ DESTACO 液壓夾具汽缸 Hydraulic Clamp / Air Hydraulic Pump
■ DESTACO 航太夾具 Aerospace Clamps
■ DESTACO 快速夾鉗夾具 Manual Clamps
■ DESTACO 最新精密導軌和升降機 Precision Guides and Lifters
■ 迪斯泰克 DESTACO 旗下品牌 : ROBOHAND
■ ROBOHAND 電動夾爪 Electric Grippers
■ ROBOHAND 無塵室夾爪、滑軌、旋轉器 Clean Room Grippers, Slides, Rotaries
■ ROBOHAND 氣動旋轉台 Pneumatic Rotary Actuators
■ ROBOHAND 滑軌、擒縱器、推卸器 Slides, Escapements, Thrusters
■ DESTACO 微型滑軌滑台 Miniature Slide
■ DESTACO 迷你夾爪 Micro Miniature Gripper
■ DESTACO 氣動夾爪 Pneumatic Grippers
■ DESTACO重型夾爪 Heavy Duty Grippers
■ DESTACO 不銹鋼食品夾爪 FDA Food Handling Grippers
■ 迪斯泰克 DESTACO 旗下品牌 : CAMCO、FERGUSON
■ CAMCO 分割器、過載保護離合器 CAMCO Indexers, Overload Clutches
■ CAMCO 定位器、減速器 Positioners, Reducers
■ CAMCO 線性&旋轉零件裝卸器 CAMCO Linear / Rotary Parts Handlers
■ CAMCO GTB 伺服定位減速器 SERVO POSITIONING ROTARY TABLES
■ CAMCO 精密輸送帶 Precision Conveyors
■ 迪斯泰克 DESTACO 旗下品牌 : CRL
■ CRL 遠距隔離操作機械手 Telemanipulators
■ CRL 快速輸送端口 RTP, Rapid Transfer Ports
■ CRL 廢物桶傳輸系統 WASTE DRUM TRANSFER SYSTEM (WDTS)
■ DIRECTCONNECT™ : DESTACO 模塊化直接安裝系統
■ Toggle Lock Plus™ : DESTACO 双重鎖夾具
■ Accelerate Collection® : DESTACO 加速輕量化機器手臂工具
■ 什麼是靜電吸盤?
■ 專利庫倫力型靜電吸盤 Patent Coulumb Force Electrostatic Chuck
■ 無線靜電吸盤 Move-Free Supporter E-chuck
■ 真空回流焊 What is Vacuum Brazing?
■ 防爆馬達 Explosion-Proof Motor?
■ ABB 防爆馬達 Explosion-proof Motor 高性能交流永磁無刷伺服電機
■ 德國 PCE Instruments 各式測量檢測儀 | 領先的測量、顯微內視儀、實驗室、稱重設備
■ 德國 Rudolph Tietzsch GmbH & Co. KG 超高電壓測試儀 & 防爆接地絕緣電阻測試儀
■ 德國 THYRACONT Vacuum Instruments GmbH 最精制的真空計
■ SRT 北京軟體機器人科技股份有限公司 ①柔性氣囊夾爪②機器視覺智能辨識檢測機
■ TORCH 北京中科同志科技有限公司 | 國家火炬計畫 - 國家級高新技術企業 中小型Vacuum Brazing真空回流焊接、SMT設備領跑者
■ TERMWAY 泰姆瑞 | 高精密自動CCD視覺貼片機 ①SMT多功能貼片機②多功能視覺貼片機③高速貼片機④LED貼片機
■ TYT 北京天譽創新科技有限公司❶伺服電動缸❷伺服電機❸直角坐標機器人❹電動六軸自由度平台並聯機器人 6DoF
■ Teison 泰盛能源技術有限公司 EVSE DC/AC Charger (美標/歐標/陸標)❶直流充電桩❷交流充電桩❸充電線❹配件
■ AST, Accurate Sensors Technologies 非接觸式紅外線溫度計
■ ACCUOPT, Accurate Optoelectronics ①體溫發熱感測儀②熱像監控儀③夜視儀
■ 湯森儀器 Tempsens Instruments (India) Tempsens Instruments GmbH 全球最大工業加熱器●陶瓷坩堝●雲母坩堝●空氣加熱器
|
|
|
Contact E-mail : [email protected]
Phone : +886 (0)-3-5824192, +886 (0)-915-669-072 (LINE, WhatsApp), WeChat: edragon168
Copyright 2014 of EDRAGON TECHNOLOGY CORPORATION
Phone : +886 (0)-3-5824192, +886 (0)-915-669-072 (LINE, WhatsApp), WeChat: edragon168
Copyright 2014 of EDRAGON TECHNOLOGY CORPORATION
